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為推動我國半導體產業發展,國家實驗研究院儀器科技研究中心成立「原子層沉積(ALD)聯合實驗室」服務平台,於今天舉辦揭牌儀式,同時與台積電簽訂合作協議。

會中邀請國內學界及供應商,包括清華大學、虎尾科大、南美特、漢民科技、漢民微測、漢辰科技、大甲永和、柏朗豪斯特與美商MSP等,共同聚焦於原子層沉積製程設備與材料開發,合作推動台灣半導體產業發展。

儀科中心表示,ALD實驗室的建立亦顯示儀科中心以累積已久的先進薄膜製程、真空儀器系統發展技術跨足台灣半導體產業的決心。

台積電副總經理孫元成,期勉與會的伙伴,整合產、學、研三方能量共同推動此一服務平台,將提升我國半導體製程設備技術與化學材料開發的研發實力。
















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